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全自動硅硅鍵合機【重新招標】項目已具備招標條件，招標項目資金已落實。中科信工程咨詢(北京)有限責任公司(招標代理機構)受登錄后查看西安飛行自動控制研究所(招標人)的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

*. 招標范圍

*.* 貨物名稱：全自動硅硅鍵合機

*.* 招標編號：****-************

*.*項目概況：

全自動硅硅鍵合機用于量子傳感、硅光、****等芯片的晶圓級密封封裝工藝，在室溫下依次對晶圓片進行等離子體表面活化和水洗甩干，經(jīng)過親水性處理的晶圓表面會形成足夠多的羥基，吸附水分子，當兩個晶圓距離足夠接近時，會在羥基、水分子間的范德華力作用下相互接觸并預鍵合到一起，再進行退火處理，使界面發(fā)生羥基聚合反應形成**-*-**鍵，增強鍵合強度；更多指標詳見第八章技術規(guī)格。

關鍵技術參數(shù)：

適用于*英寸晶圓，并可擴展至*英寸；

多模塊多腔室組合，包括等離子活化、水清洗、光學對準、鍵合等處理模式；

****鍵合對準精度：≤±*μ*；

更多技術指標詳見第八章。

*.* 數(shù)量：*臺。

*.* 交貨期：合同簽訂生效后*個月內交貨。

*.* 項目現(xiàn)場：登錄后查看西安飛行自動控制研究所指定地點。

*. 對投標人的資格要求

*.* 投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任能力。

*.*本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。授權書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的(同時須提供制造商與獨資子公司的關系說明，并由雙方簽字或者蓋章)。

*.*本項目不接受聯(lián)合體投標。

*.*投標人必須向招標代理機構購買招標文件并進行登記才具有投標資格。

*. 招標文件獲取

*.*凡有意參加投標者，請于****年*月*日至****年*月**日**時(北京時間)，登錄中航工業(yè)電子采購平臺(登錄后查看)上傳匯款底單和下載招標文件,現(xiàn)場不予受理。如有疑問，請致電中航工業(yè)電子采購平臺服務熱線***-***-****。

*.* 招標文件售價人民幣***元或***美元，售后款項不予退還。潛在投標人應通過本鏈接:****.***.***.**/*.******?****=******&**=***支付招標文件費用，支付后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進入鏈接點擊消費記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動發(fā)送至申請時所填郵箱。潛在投標人將付款憑證(形式不限)和發(fā)票上傳交易平臺，經(jīng)招標人(代理機構)確認后，才能獲得招標文件的下載權限。

*.* 投標人必須在中航工業(yè)電子采購平臺注冊，辦理**數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標。(詳見中航工業(yè)電子采購平臺相關說明)。

*. 投標文件的遞交

*.*投標文件遞交的截止時間(投標截止時間，下同)為****年*月*日*時**分(北京時間)，投標人應在截止時間前通過中航工業(yè)電子采購平臺(登錄后查看)上傳加密的電子版投標文件，并在此時間前遞交單獨密封的紙質版投標文件至陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)一路**號西安亞丁灣羽安酒店會議室。

*.*逾期送達的投標文件，中航工業(yè)電子采購平臺將予以拒收。

*.*投標人未按要求上傳加密電子版投標文件，或平臺軟件無法獲取、解密投標人上傳的電子版投標文件，招標人不予受理。

*. 開標

開標時間同投標文件遞交的截止時間，開標地點同投標文件遞交地點。

*. 發(fā)布公告的媒介

本次招標公告同時在中航工業(yè)電子采購平臺、中國國際招標網(wǎng)、中國招標投標公共服務平臺和中招聯(lián)合招標采購平臺上發(fā)布。

*. 監(jiān)督部門

本招標項目的監(jiān)督部門為登錄后查看西安飛行自動控制研究所紀檢部/審計法律部

*. 聯(lián)系方式(含異議受理)

招標人名稱：登錄后查看西安飛行自動控制研究所

地址：陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)路***號

聯(lián)系人：任經(jīng)理

電話：***-********

招標代理機構名稱：中科信工程咨詢(北京)有限責任公司

地址：北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角**號大樓

郵編： ******

聯(lián)系人：郗女士

電話： ***-********

項目負責人：王瑋

電話：***-********、***-********

傳真：***-********

電子郵件：**********登錄后查看******.***

****年*月*日