一、項目名稱：激光鍍膜系統(tǒng)
二、招標編號：********
三、招標人：蘇州大學采購與招投標管理中心
地址：江蘇省蘇州市東環(huán)路**號凌云樓****室
郵編：****** 傳真：****-********
聯(lián)系人：羅老師 電話：****-********，********
電子郵箱：******登錄后查看****.***.**
技術聯(lián)系人：王老師 電話：***********
電子郵箱：******登錄后查看****.***.**
四、招標貨物品名、數(shù)量、主要性能參數(shù)基本要求
本項目共分*標段，所有標段可兼投兼中。供應商可選擇參與其中一個或多個標段投標，也可參與全部標段投標。
標段*：電子束真空鍍膜機(預算金額為***萬元)
標段*：高能脈沖磁控濺射鍍膜機(預算金額為**萬元)
標段*：真空紫外熱蒸發(fā)鍍膜機(預算金額為***萬元)
第一標段 電子束真空鍍膜機 *臺
*. 真空室箱式前開門結構，內腔直徑大于等于**** **，不銹鋼材料。
*. 配行星工件架和平盤，轉速可調，最高可達**轉/分鐘,*個行星盤，單個最大載重量****,工件豎直方向的位移量不超過* **。
*. 極限真空優(yōu)于*×**-***，從大氣抽至工作真空*×**-*** 時間小于**分鐘。漏氣率低于*×**-登錄后查看秒
*. 烘烤溫度可調，最高大于***℃，溫度均勻性***℃±**℃(** 分鐘)。
*. 配光學膜厚監(jiān)控儀，波長范圍：*****-******，光控精度優(yōu)于*.*%,**點監(jiān)控篇旋轉機構，監(jiān)控片最高加熱溫度***℃
*. 電子槍*套，***°偏轉，自動滅弧系統(tǒng)，加速電壓***~****連續(xù)可調，放射電流*~**連續(xù)可調，最大輸出功率****。配環(huán)形坩堝和點式坩堝。
*. 配干泵，低溫泵，低溫冷凝器。
*. 配射頻離子源，網(wǎng)柵尺寸大于****，射頻功率不低于*****，加速電壓****~*****可調，最大束電流不小于******。
*. 配充氣控制系統(tǒng)：壓力范圍*.*×**-*?*.*×**-***。
**. 配水晶體膜厚監(jiān)控*套，分別位于頂部中心和各坩堝上方。
**. 配冷卻水系統(tǒng)。
**. 配電氣控制系統(tǒng)。
**. 配鍍膜控制系統(tǒng)。
**. 膜厚均勻性，******×*****光學元件鍍膜均勻性**值±*.*%(考察****/****登錄后查看*****)。
**.質保期不少于*年。
第二標段 高能脈沖磁控濺射鍍膜機 *臺
*. 真空腔室尺寸≥Ф*********。
*.靶材樣品面積：φ****。
*. 可濺射材料：金屬、氧化物、氮化物、半導體。
*.極限真空度≤*.*×**-***。抽速：短時間暴露大氣環(huán)境，*****內真空度≤*×**-***，保壓：停泵***后≤*.***。
*.濺射靶頭數(shù)量*個，靶頭可適配射頻、直流、高能脈沖、偏壓四種電源。
*.最高加熱溫度≥***℃，長期工作溫度≥***℃，溫控精度±*℃。
*.濺射電源種類：*個直流電源:輸出功率≥*****，連續(xù)工作時間≥**；*個脈沖偏壓電源：≥-*****/**；*個射頻電源：輸出功率≥****，連續(xù)工作時間≥**，頻率全自動匹配；*個高能脈沖電源；高能脈沖電源：*臺，**輸入功率*****，脈沖輸出功率+/- ***** (****)，工作頻率** - ** ***，開啟和關斷時間≥*μ* (*** + **** ≥ **μ*)，抑弧時間≤* μ*，抑弧重啟時間** μ* ?***** μ*。
*.共焦磁控濺射靶(濺射靶角度可調)，分布在一個圓周上，各靶可獨立/順次/共同工作。
*.靶在下，待沉積樣品在下，從下往上沉積。
**.基板數(shù)不少于*組，基板尺寸不小于*****×*****，公自轉動軸位*組；每個工位均可進行獨立加熱，基片通過加熱絲加熱方式，加熱爐加熱溫度：室溫～***°*，加熱電源配備控溫表，控溫方式為***自動控溫及數(shù)字顯示。
**.供氣管路數(shù)量*路，單路最大流量≥*******，包括氧氣、氬氣、氮氣。
**.提供氣路卡套、壓墊、管接頭等*套。
**.設備在抽真空、濺射等全過程有計算機全自動可編程序控制系統(tǒng)。
**.設備配備工業(yè)屏，可對全工藝、全動作、全功能的執(zhí)行過程中的數(shù)據(jù)，流程，報警等信息進行顯示，并可對設備相關部件進行操作。
**.安全控制系統(tǒng)對超溫、超壓、停水、停電和設備運行狀態(tài)下的突發(fā)故障或異常情況做出聲光報警、自鎖或互鎖，保護等動作。
**. 雙通道膜厚儀監(jiān)測系統(tǒng)。
**.設備驗證驗收要求
鍍膜指標：實現(xiàn)鍍制二氧化鉿薄膜，厚度*** **，片內均勻性≤±*%，片間均勻性≤±*%；實現(xiàn)鍍制鋁薄膜，厚度*** **，片內均勻性≤±*%，片間均勻性≤±*%。測試方法為：使用臺階儀或***測試。
**.質保期不少于*年。
第三標段 真空紫外熱蒸發(fā)鍍膜機*臺
(一). 真空室
*. 材質為不銹鋼，真空室內表面必須電拋光處理。
*.配置真空冷泵，抽速******/*。
*. 配置干泵前級泵，可保障抽氣*分鐘內打開高閥。
*.真空測量系統(tǒng)包括* 路皮拉尼熱偶低真空計，* 路電離高真空計。
*.配置水冷式防污護板*件，水冷百葉窗*件。
*. * 個行星工件盤，材質為不銹鋼，行星盤直徑*****，*套四片。
*.采用氮化硅陶瓷板輻射加熱，陶瓷板采用觸點連接，無鏈接線纜；烘烤位置及輻照方向可調。加熱溫度：***℃ (** 分鐘以內)。
*.極限真空度*≤*.*×**-*****。
*. 抽氣速率，抽氣**分鐘后真空度<*.*×**-*****。
**. 采用防湍流真空抽氣，主抽氣管道采用全新**** 管道高品質無油角閥，低溫泵、預抽使用高品質無油管道角閥。
**. 破空采用防湍流破空，采用*件高品質無油管道角閥破空。
(二)電子槍和阻蒸系統(tǒng)要求
*. 電子槍槍頭兩件，*****安裝法蘭，主要部件材質為無氧銅，水冷、高壓源、控制電流直接通過法蘭進入，真空室內部無裸露線纜設計，高壓連接和掃描線圈連接內隱處理。
*.高壓單元基座，坩堝基座，掃描單元基座水冷。
*.配置高壓電源，****/**高壓電源采用開關電源；具有過流，超溫，打火等報警信號。
*. 配置兩套燈絲變壓器，分別供給兩個電子槍槍頭，兩個槍頭可獨立運行，燈絲變壓器置于電子槍附近，燈絲變壓器的高壓輸入輸出采用內插式電氣連接方式。
*. 阻蒸電流*****，供應*路阻蒸，由鍍膜軟件控制實現(xiàn)自動鍍膜功能。
*. 阻蒸電極帶水冷，水冷延伸至真空室內部，直至蒸發(fā)舟壓塊位置。
*. 提供安裝和軟件兼容服務，使電子槍和阻蒸可以由鍍膜軟件控制實現(xiàn)自動鍍膜功能。
(三)離子源系統(tǒng)要求
*. 具備打火抑制功能；可抗擊瞬間短路沖擊，短路取消后輸出恢復時間＜***。
*. 離子能量范圍：最小****，最大*****以上，穩(wěn)定工作電壓可低于****。
*. 總離子電流：大于***登錄后查看 *<*×**-*****。
*.束流密度：****高度，直徑*****鍍膜區(qū)域內最大需達到*.****/**2。
*. 能承受高氧氣工藝，最大充氧量不小于******。
*. 真空密封性<*.*×**-*****
(四)工藝要求
*.設備完成過國際上*****或者*****激光薄膜的制備。
*. 交付時完成工藝如下：*****透過率>**.*%，*****透過率>**.*%。
(五)質保期不少于*年。
五、評分標準
本次招標采用綜合評分法，總分為***分。本評分標準適用于所有標段，具體內容如下：
(一)針對中小企業(yè)、殘疾人福利企業(yè)和監(jiān)獄企業(yè)的評審(加分)：
根據(jù)《政府采購促進中小企業(yè)發(fā)展管理辦法》(財庫〔****〕**號)、《江蘇省財政廳關于進一步加大政府采購支持中小企業(yè)力度的通知》(蘇財購〔****〕**號)、《關于促進殘疾人就業(yè)政府采購政策的通知》(財庫〔****〕***號)和《關于政府采購支持監(jiān)獄企業(yè)發(fā)展有關問題的通知》(財庫〔****〕**號)的有關規(guī)定，對于符合上述文件規(guī)定情形的小微企業(yè)、殘疾人福利性單位及監(jiān)獄企業(yè)報價給予**%的扣除，用扣除后的價格參與評審，如扣除后的價格為最低價的，則作為評標基準價，中標金額則以實際投標報價為準。殘疾人福利性單位屬于小型、微型企業(yè)的，不重復享受政策。
小微企業(yè)提供《中小企業(yè)聲明函》；監(jiān)獄企業(yè)提供由省級以上監(jiān)獄管理局、戒毒管理局(含新疆生產建設兵團)出具的屬于監(jiān)獄企業(yè)的證明文件；殘疾人福利性單位提供《殘疾人福利性單位聲明函》。
注：
①填報“中小企業(yè)聲明函”需嚴格按“工信部聯(lián)企業(yè)〔****〕***號通知中的《中小企業(yè)劃型標準規(guī)定》進行。
②若供應商提供的聲明函或認定證明為虛假材料，按“政府采購法”相關規(guī)定處理并報請政府監(jiān)管部門給予行政處罰。
根據(jù)《政府采購促進中小企業(yè)發(fā)展管理辦法》(財庫〔****〕** 號)及《中小企業(yè)劃型標準規(guī)定》(工信部聯(lián)企業(yè)〔****〕*** 號)，本采購標的對應的中小企業(yè)劃分標準所屬行業(yè)為：工業(yè)。
(二)技術參數(shù)、配置及整體綜合性能分(**分)
*．技術參數(shù)及配置(**分)
以供應商提供的能直接反映該產品技術參數(shù)的彩頁或產品說明書等作為主要評判依據(jù)，其他情況由評標委員會根據(jù)實際情況進行評判。
(*)所提供產品多項不滿足招標公告要求(偏離)，或參數(shù)偏離超出用戶教學、科研可接受范圍的，經評標委員會評審可作為無效響應文件。
(*)所提供產品不滿足招標公告要求(偏離)、配置不詳、技術參數(shù)不明確、缺漏項的，每處扣*分。
*．綜合性能情況(**分)
(*)所提供產品性能參數(shù)優(yōu)于招標文件中技術要求情況(評標委員會認為超出指標有意義的)(*分)。其中優(yōu)于項，每處加*分。
(*)所提供產品的市場反饋情況(*分)。根據(jù)所提供產品的品牌影響力、市場占有率(同行業(yè)為主)、現(xiàn)有用戶的反饋情況、使用提供產品發(fā)表的學術論文情況等綜合評定。
(三)價格分(**分)
*．基準價：滿足招標文件要求且價格最低的報價為基準價，基準價為滿分**分。
*．其他供應商的報價得分按照下列公式計算：報價得分＝(基準價／報價)×**分。
(四)綜合商務(**分)
*．綜合實力(*分)
根據(jù)供應商綜合實力評定。
*．售后服務與培訓情況等(**分)
(*)質保期(*分)。符合招標文件要求的，得*分，每增加一年質保期加*分。
(*)服務、技術支持與培訓承諾情況(*分)。
根據(jù)招標文件的相關承諾、服務網(wǎng)點設置情況、服務響應時間、現(xiàn)有用戶對產品售后服務情況及服務水平的反饋等綜合評定。
*．其它優(yōu)惠措施等(*分)
根據(jù)供應商提供的在招標文件要求范圍以外，評標委員會認可的優(yōu)惠措施綜合評定。
六、本次招標采用一次性報價。報價應包括稅金、國際國內運輸費、保險和其他為完成本項目所發(fā)生的一切費用。
七、供應商資質要求
(一)一般資格條件
*.具有獨立承擔民事責任的能力
*.具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務會計制度
*.具有履行合同所必需的設備和專業(yè)技術能力
*.有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄
*.近三年內，在經營活動中沒有重大違法記錄
*.本項目不接受聯(lián)合體投標
(二)落實政府采購政策需滿足的資格要求：無。
八、投標文件的組成
(一)投標文件一
*.投標函
*.投標報價表
*.詳細配置及分項報價清單
(二)投標文件二(文件中不得出現(xiàn)所投產品報價及配置分項報價，否則作廢標處理)
*.投標基本情況一覽表
*.詳細配置清單、技術規(guī)格偏離表和投標儀器設備彩頁
*.技術方案、服務承諾、培訓承諾
*.資格證明文件
*.《中小企業(yè)聲明函》或《殘疾人福利性單位聲明函》或由省級以上監(jiān)獄管理局、戒毒管理局(含新疆生產建設兵團)出具的屬于監(jiān)獄企業(yè)的證明文件(如有)
*.投標人認為應提供的其他材料
特別說明：
*.“投標文件一”和“投標文件二”應分別裝訂和密封，并加蓋投標單位公章
*.“投標文件一”，正本一份
“投標文件二”，正本一份，副本五份
*.相關材料及填寫規(guī)范按照登錄后查看第三條“投標文件”中的具體要求執(zhí)行
九、貨物交貨期、交貨地點、付款方式、安裝、調試、驗收以及售后服務等相關商務要求，按照登錄后查看登錄后查看第**條中的要求執(zhí)行。
十、各投標人在投標前，須認真閱讀登錄后查看登錄后查看和本招標公告，完全了解并接受其所有條款及要求，并在****年**月**日**：**前將報名函(格式見附件*)發(fā)送郵件至采購人處(******登錄后查看****.***.**)。
十一、遞交投標文件相關事宜：
(一)順豐快遞(建議優(yōu)先采用)
*. 寄達時間：****年**月**日**：**前；
*. 收件人信息
收件人：羅榮飚
聯(lián)系方式：***********
收件地址：江蘇省蘇州市東環(huán)路**號凌云樓****室
(二)現(xiàn)場遞交方式
*. 遞交時間：****年**月**日**：**～**：**
*. 遞交地點：江蘇省蘇州市東環(huán)路**號蘇州大學東校區(qū)東大門
十二、投標截止時間：****年**月**日**：**。
十三、開標時間：****年**月**日**：**。
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