一、項(xiàng)目名稱：光刻系統(tǒng)
二、招標(biāo)編號：********
三、招標(biāo)人：蘇州大學(xué)采購與招投標(biāo)管理中心
地址：江蘇省蘇州市東環(huán)路**號凌云樓****室
郵編：****** 傳真：****-********
聯(lián)系人：羅老師 電話：****-********，********
電子郵箱：******登錄后查看****.***.**
技術(shù)聯(lián)系人：王老師 電話：***********
電子郵箱：******登錄后查看****.***.**
四、招標(biāo)貨物品名、數(shù)量、主要性能參數(shù)基本要求
本項(xiàng)目共分*標(biāo)段，所有標(biāo)段可兼投兼中。供應(yīng)商可選擇參與其中一個(gè)或多個(gè)標(biāo)段投標(biāo)，也可參與全部標(biāo)段投標(biāo)。
標(biāo)段*：雙面對準(zhǔn)紫外光刻機(jī)(預(yù)算金額為**萬元)
標(biāo)段*：超快激光精密測量系統(tǒng)(預(yù)算金額為***萬元)
標(biāo)段*：高精度**無掩膜光刻設(shè)備(預(yù)算金額為***萬元)
第一標(biāo)段雙面對準(zhǔn)紫外光刻機(jī)*臺
*.光源類型： *** 光源或汞燈等。
*.曝光面積：*寸向下兼容。
*.曝光波長： *** **: *-** **/***數(shù)字連續(xù)可調(diào)。
*.分辨力：*μ*。
*.對準(zhǔn)精度：*.* μ*(單面)，* μ*(雙面，片厚≤*.***)。
*.正面面對準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+***+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍****?***** 。
*.底面面對準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+***+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍****-***** 。
*.具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能。
*.照明不均勻性: 士*%(Ф*** ** 范圍)，士*%(Ф*** ** 范圍)。
**.質(zhì)保期不少于*年。
第二標(biāo)段超快激光精密測量系統(tǒng) *套
*. 激光脈沖時(shí)域特性測量
*.* 輸入脈沖波長范圍：***** ? ******。
*.* 脈寬長度測試范圍：*** ? ****。
*.* 掃描范圍：最大到****。
*.* 掃描分辨率≤ ***。
*.* 最小延遲增量：***。
*.* 光譜分辨率：*.*** ? ***。
*.* 光譜范圍：***** ? *****。
*.* 脈沖復(fù)雜度：**** ≤ **。
*.* 強(qiáng)度精度：~ *%。
*.** 相位精度：*.*********。
*.** 實(shí)時(shí)靈敏度：~ ***。
*.** 平均靈敏度：~ *.****。
*.** 輸入光斑直徑：*** ~ ***, 準(zhǔn)直。
*.** 極化方向：水平。
*.** 采集速度：≥*** (*****柵格)。
*. 激光空域特性測量
*.*全自動(dòng)分析激光光束質(zhì)量：光斑大小、能量分布、質(zhì)心、峰值中心、高斯擬合度、光斑指向穩(wěn)定性、**因子、發(fā)散角等，所有結(jié)果均符合***標(biāo)準(zhǔn)。
*.* 響應(yīng)波長范圍：***** ? ******。
*.* 最大測量光斑大小：*.*×*.***。
*.* 分辨率：****×****。
*.* 像素大小：*.**×*.**μ*。
*.* 動(dòng)態(tài)范圍：****。
*.* 速度快：*分鐘內(nèi)出結(jié)果，并可輸出 ***測量結(jié)果報(bào)告以及多種格式的日志。
*.*含自動(dòng)衰減器。
*.*連續(xù)和脈沖激光均可測量。
*. 激光波形捕獲特性測量
*.* 模擬通道帶寬：****。
*.* *個(gè)模擬通道，**個(gè)數(shù)字通道，*個(gè)***通道。
*.* 最高實(shí)時(shí)采樣率：*****/*(非交織模式)。
*.* 最高存儲深度：*******。
*.* 波形捕獲率高于***,***個(gè)波形每秒。
*.* 選配支持眼圖和抖動(dòng)分析(需購買選件)。
*.* 垂直靈敏度范圍：***/***-***/***(**Ω)。
*.* 時(shí)基范圍：*****/***-***/***。
*.* 水平模式：**, **, ****, ****。
*.** 多達(dá)**萬幀的硬件實(shí)時(shí)波形不間斷錄制和回放功能。
*.** 自動(dòng)測量：精確測量和普通測量兩種模式，支持全內(nèi)存硬件精確測量。
*.** 提供數(shù)字電壓表、*位頻率計(jì)和累加器。
*. 激光光譜特性測量
*.* 測試光譜范圍：***** ? ******。
*.* 最小波長分辨率≤*.****。
*.* 可測量功率范圍： -***** ~ +*****。
*.* 全波長范圍波長精度≤ ±*.***。
*.* *****處波長精度≤ ±*.****。
*.* 最大采樣點(diǎn)數(shù)≥ *****。
*.* 功率精度≤ ±*.***。
*.* 功率線性度≤ ±*.***。
*.* 輸入方式：空間結(jié)構(gòu)，兼容單模、多模、大芯徑光纖接入測試。
*.** 模式：***模式，支持后續(xù)功能性測試便于使用。
*.** 動(dòng)態(tài)范圍：****。
*. 激光頻譜特性測量
*.* 頻率范圍：**** ? *.****。
*.* 分辨率帶寬：*** ? *****。
*.* 單邊帶相噪***： *=****, < –******登錄后查看****；< –******登錄后查看******。
*.* ***壓縮點(diǎn)：前置放大器***， +*****登錄后查看* ≤ *.****；+****登錄后查看* > *.****。
*.* 頻率響應(yīng)< *.***登錄后查看*.**** ≤ * ≤ *.****。
*.* 底噪聲****：–******登錄后查看**** ≤ * < ****(預(yù)放關(guān))。
*.* 最大掃描點(diǎn)數(shù)：******。
*.* 內(nèi)置分析帶寬：***** 。
*.* 掃描時(shí)間：*μ* ** ******。
*.** */*數(shù)據(jù)存儲深度：******。
*.** 二次諧波截止點(diǎn)(***)：*****。
*.** ***無雜散動(dòng)態(tài)范圍：–*****。
*.** 三階交調(diào)***：> *****, ***. ***** 登錄后查看 * =****。
*.** **.* 英寸高分辨率多點(diǎn)觸控中文顯示屏，****×***分辨率。
*.** 配置****命令自動(dòng)記錄(**** *********)功能。
*. 激光熱特性測量
*.* 紅外分辨率：探測器物理分辨率***×***，具備超像素功能，分辨率增強(qiáng)至****×***。
*.* 探測器類型：非制冷型紅外焦平面探測器。
*.* 熱靈敏度：****(*.**°*)。
*.* 紅外鏡頭視角：**°×**°。
*.* 空間分辨率(****)：*.******。
*.* 測溫量程：-**℃至+***℃，可選配-**℃低溫?cái)U(kuò)展和****℃高溫?cái)U(kuò)展。
*.* 測溫精度：*°*至+***°*范圍內(nèi)，測溫精度為±*°*；其它量程為±*°*或 ±*%。
*.* 圖像幀頻：****。
*.* 響應(yīng)波長：*μ* ?**μ*。
*.**數(shù)碼變焦：*-**倍連續(xù)變焦。
*.**對焦方式：連續(xù)自動(dòng)對焦，對比度自動(dòng)對焦、手動(dòng)對焦，激光自動(dòng)對焦。
*.**高溫差均衡成像技術(shù)：有效屏蔽高溫?zé)嵩锤蓴_，清晰顯示被測物熱梯度變化，避免黑屏式顯示。
*.**復(fù)合調(diào)色聚焦成像技術(shù)：復(fù)雜場景中分析特定目標(biāo)的細(xì)微溫差，有利于現(xiàn)場快速得出正確的診斷結(jié)論。
*.**細(xì)節(jié)增強(qiáng)成像：能在實(shí)時(shí)熱像畫面中，通過觸控的方式呈現(xiàn)目標(biāo)區(qū)域的彩色熱成像，其他區(qū)域則以黑白熱成像顯示，大幅度增強(qiáng)復(fù)雜場景中特定目標(biāo)的細(xì)微溫差成像效果，有利于測試過程中發(fā)現(xiàn)細(xì)微的熱梯度變化。
*.質(zhì)保期不少于*年。
第三標(biāo)段高精度**無掩膜光刻設(shè)備 *臺
*.配置
*.* 高速聲光掃描器(***)一套。
*.* 半導(dǎo)體激光器一套。
*.* 大理石底座及氣浮防震裝置一套。
*.* 精密光學(xué)系統(tǒng)一套。
*.* 精密工件臺系統(tǒng)一套。
*.* 光學(xué)自動(dòng)聚焦系統(tǒng)一套。
*.* 寫頭*個(gè)。
*.* 監(jiān)控裝置及測量軟件一套。
*.* 電氣控制系統(tǒng)一套。
*.** 溫控防塵罩一套。
*.工作場地條件
*.*潔凈等級:***** ****。
*.*電力要求：******±*%，**/****，***。
*.* 氣溫范圍：**℃～**℃，穩(wěn)定性±*℃。
*.* 相對濕度：**％±**%。
*.* 震動(dòng)等級優(yōu)于**-*。
*.* 照明采用安全黃光。
*.主要技術(shù)指標(biāo)
*.* 刻寫通道數(shù)：* 。
*.* 直寫寫頭數(shù)量：*。
*.*.* 一般寫頭：最小特征尺寸≤*.*μ*，寫入速度≥*****/***。
*.*.* 寫頭需包含閉環(huán)壓電與閉環(huán)電機(jī)。
*.* 最高分辨率≤******。
*.* 套刻精度≤*****。
*.*灰度等級****。
*.*最小線寬間距≤***。
*.* 線寬均勻性≤****(最高分辨率條件下)。
*.* 配置中空位移臺，開孔尺寸不小于*****×*****。
*.* 配置鏤空真空吸附臺，適用于背部對準(zhǔn)。
*.** 可接受最大基板尺寸≥*×*英寸。
*.** 有效曝光面積≥***×******。
*.** 可接受基板厚度：*.***?****。
*.** 溫控防塵罩：溫度控制：±*.*℃(場地環(huán)境控制在±*℃)。
*.** 激光發(fā)生器
*.**.* 激光器種類：半導(dǎo)體激光器。
*.**.* 激光器波段：*****。
*.**.* 激光能量≥****。
*.** 精密光學(xué)系統(tǒng)：由一組高精密光學(xué)元件加上聲光調(diào)制器(***)及聲光偏轉(zhuǎn)器(***)組成。
*.** 精密工作臺平臺系統(tǒng)：利用高精密零膨脹光柵尺反饋來控制線性電機(jī)的移動(dòng)，位移臺控制器：********線性放大器，***********-*****，包含*****倍頻模塊，雙軸***。
*.** 自動(dòng)跟焦范圍：***μ*。
*.** 計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)：可控制激光曝光、線寬位置，坐標(biāo)測量和平臺移動(dòng)。可將通用數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換為光刻使用的數(shù)據(jù)格式，再通過將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為激光束偏轉(zhuǎn)信號在襯底上曝光出所需圖形。數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換軟件基本功能：圖形鏡像處理、圖形縮小放大處理、圖形旋轉(zhuǎn)角度處理、激光掃描區(qū)域選擇和繪圖讀寫頭選擇
*.** 基板背向?qū)?zhǔn)功能：背向?qū)?zhǔn)精度≤*μ*。
*.質(zhì)保期不少于*年。
五、評分標(biāo)準(zhǔn)
本次招標(biāo)采用綜合評分法，總分為***分。本評分標(biāo)準(zhǔn)適用于所有標(biāo)段，具體內(nèi)容如下：
(一)針對中小企業(yè)、殘疾人福利企業(yè)和監(jiān)獄企業(yè)的評審(加分)：
根據(jù)《政府采購促進(jìn)中小企業(yè)發(fā)展管理辦法》(財(cái)庫〔****〕**號)、《江蘇省財(cái)政廳關(guān)于進(jìn)一步加大政府采購支持中小企業(yè)力度的通知》(蘇財(cái)購〔****〕**號)、《關(guān)于促進(jìn)殘疾人就業(yè)政府采購政策的通知》(財(cái)庫〔****〕***號)和《關(guān)于政府采購支持監(jiān)獄企業(yè)發(fā)展有關(guān)問題的通知》(財(cái)庫〔****〕**號)的有關(guān)規(guī)定，對于符合上述文件規(guī)定情形的小微企業(yè)、殘疾人福利性單位及監(jiān)獄企業(yè)報(bào)價(jià)給予**%的扣除，用扣除后的價(jià)格參與評審，如扣除后的價(jià)格為最低價(jià)的，則作為評標(biāo)基準(zhǔn)價(jià)，中標(biāo)金額則以實(shí)際投標(biāo)報(bào)價(jià)為準(zhǔn)。殘疾人福利性單位屬于小型、微型企業(yè)的，不重復(fù)享受政策。
小微企業(yè)提供《中小企業(yè)聲明函》；監(jiān)獄企業(yè)提供由省級以上監(jiān)獄管理局、戒毒管理局(含新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán))出具的屬于監(jiān)獄企業(yè)的證明文件；殘疾人福利性單位提供《殘疾人福利性單位聲明函》。
注：
①填報(bào)“中小企業(yè)聲明函”需嚴(yán)格按“工信部聯(lián)企業(yè)〔****〕***號通知中的《中小企業(yè)劃型標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定》進(jìn)行。
②若供應(yīng)商提供的聲明函或認(rèn)定證明為虛假材料，按“政府采購法”相關(guān)規(guī)定處理并報(bào)請政府監(jiān)管部門給予行政處罰。
根據(jù)《政府采購促進(jìn)中小企業(yè)發(fā)展管理辦法》(財(cái)庫〔****〕** 號)及《中小企業(yè)劃型標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定》(工信部聯(lián)企業(yè)〔****〕*** 號)，本采購標(biāo)的對應(yīng)的中小企業(yè)劃分標(biāo)準(zhǔn)所屬行業(yè)為：工業(yè)。
(二)技術(shù)參數(shù)、配置及整體綜合性能分(**分)
*．技術(shù)參數(shù)及配置(**分)
以供應(yīng)商提供的能直接反映該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)的彩頁或產(chǎn)品說明書等作為主要評判依據(jù)，其他情況由評標(biāo)委員會根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行評判。
(*)所提供產(chǎn)品多項(xiàng)不滿足招標(biāo)公告要求(偏離)，或參數(shù)偏離超出用戶教學(xué)、科研可接受范圍的，經(jīng)評標(biāo)委員會評審可作為無效響應(yīng)文件。
(*)所提供產(chǎn)品不滿足招標(biāo)公告要求(偏離)、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏項(xiàng)的，每處扣*分。
*．綜合性能情況(**分)
(*)所提供產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于招標(biāo)文件中技術(shù)要求情況(評標(biāo)委員會認(rèn)為超出指標(biāo)有意義的)(*分)。其中優(yōu)于項(xiàng)，每處加*分。
(*)所提供產(chǎn)品的市場反饋情況(*分)。根據(jù)所提供產(chǎn)品的品牌影響力、市場占有率(同行業(yè)為主)、現(xiàn)有用戶的反饋情況、使用提供產(chǎn)品發(fā)表的學(xué)術(shù)論文情況等綜合評定。
(三)價(jià)格分(**分)
*．基準(zhǔn)價(jià)：滿足招標(biāo)文件要求且價(jià)格最低的報(bào)價(jià)為基準(zhǔn)價(jià)，基準(zhǔn)價(jià)為滿分**分。
*．其他供應(yīng)商的報(bào)價(jià)得分按照下列公式計(jì)算：報(bào)價(jià)得分＝(基準(zhǔn)價(jià)／報(bào)價(jià))×**分。
(四)綜合商務(wù)(**分)
*．綜合實(shí)力(*分)
根據(jù)供應(yīng)商綜合實(shí)力評定。
*．售后服務(wù)與培訓(xùn)情況等(**分)
(*)質(zhì)保期(*分)。符合招標(biāo)文件要求的，得*分，每增加一年質(zhì)保期加*分。
(*)服務(wù)、技術(shù)支持與培訓(xùn)承諾情況(*分)。
根據(jù)招標(biāo)文件的相關(guān)承諾、服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)設(shè)置情況、服務(wù)響應(yīng)時(shí)間、現(xiàn)有用戶對產(chǎn)品售后服務(wù)情況及服務(wù)水平的反饋等綜合評定。
*．其它優(yōu)惠措施等(*分)
根據(jù)供應(yīng)商提供的在招標(biāo)文件要求范圍以外，評標(biāo)委員會認(rèn)可的優(yōu)惠措施綜合評定。
六、本次招標(biāo)采用一次性報(bào)價(jià)。報(bào)價(jià)應(yīng)包括稅金、國際國內(nèi)運(yùn)輸費(fèi)、保險(xiǎn)和其他為完成本項(xiàng)目所發(fā)生的一切費(fèi)用。
七、供應(yīng)商資質(zhì)要求
(一)一般資格條件
*.具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力
*.具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會計(jì)制度
*.具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力
*.有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄
*.近三年內(nèi)，在經(jīng)營活動(dòng)中沒有重大違法記錄
*.本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)
(二)落實(shí)政府采購政策需滿足的資格要求：無。
八、投標(biāo)文件的組成
(一)投標(biāo)文件一
*.投標(biāo)函
*.投標(biāo)報(bào)價(jià)表
*.詳細(xì)配置及分項(xiàng)報(bào)價(jià)清單
(二)投標(biāo)文件二(文件中不得出現(xiàn)所投產(chǎn)品報(bào)價(jià)及配置分項(xiàng)報(bào)價(jià)，否則作廢標(biāo)處理)
*.投標(biāo)基本情況一覽表
*.詳細(xì)配置清單、技術(shù)規(guī)格偏離表和投標(biāo)儀器設(shè)備彩頁
*.技術(shù)方案、服務(wù)承諾、培訓(xùn)承諾
*.資格證明文件
*.《中小企業(yè)聲明函》或《殘疾人福利性單位聲明函》或由省級以上監(jiān)獄管理局、戒毒管理局(含新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán))出具的屬于監(jiān)獄企業(yè)的證明文件(如有)
*.投標(biāo)人認(rèn)為應(yīng)提供的其他材料
特別說明：
*.“投標(biāo)文件一”和“投標(biāo)文件二”應(yīng)分別裝訂和密封，并加蓋投標(biāo)單位公章
*.“投標(biāo)文件一”，正本一份
“投標(biāo)文件二”，正本一份，副本五份
*.相關(guān)材料及填寫規(guī)范按照登錄后查看第三條“投標(biāo)文件”中的具體要求執(zhí)行
九、貨物交貨期、交貨地點(diǎn)、付款方式、安裝、調(diào)試、驗(yàn)收以及售后服務(wù)等相關(guān)商務(wù)要求，按照登錄后查看第**條中的要求執(zhí)行。
十、各投標(biāo)人在投標(biāo)前，須認(rèn)真閱讀登錄后查看和本招標(biāo)公告，完全了解并接受其所有條款及要求，并在****年**月*日**：**前將報(bào)名函(格式見附件*)發(fā)送郵件至采購人處(******登錄后查看****.***.**)。
十一、遞交投標(biāo)文件相關(guān)事宜：
(一)順豐快遞(建議優(yōu)先采用)
*. 寄達(dá)時(shí)間：****年**月*日*：**前；
*. 收件人信息
收件人：羅榮飚
聯(lián)系方式：***********
收件地址：江蘇省蘇州市東環(huán)路**號凌云樓****室
(二)現(xiàn)場遞交方式
*. 遞交時(shí)間：****年**月*日*：**～*：**
*. 遞交地點(diǎn)：江蘇省蘇州市東環(huán)路**號蘇州大學(xué)東校區(qū)東大門
十二、投標(biāo)截止時(shí)間：****年**月*日*：**。
十三、開標(biāo)時(shí)間：****年**月*日*：**。
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