項目概況
沈陽工業大學智能檢測與智能運維管理實驗中心設備采購項目(**)招標項目的潛在供應商應在線上獲取招標文件,并于****年**月**日 **時**分(北京時間)前遞交投標文件。
一、項目基本情況
項目編號：****-******-*****
項目名稱：沈陽工業大學智能檢測與智能運維管理實驗中心設備采購項目(**)
包組編號：***
預算金額(元)：******
最高限價(元)：******
一、主體指標★*.*真空腔室：尺寸：Ф≥*****×≥****** ，前開門結構，頂板焊水線，內表面應用電拋等清潔處理，焊縫應采用氬弧焊接且內表面拋光。*.*真空系統組成：復合分子泵 + 直聯高速旋片式真空泵 + 高真空閥門 + 數顯復合真空計?！?.*其中分子泵，抽速≥**** */*；直聯高速旋片式真空泵為抽速≥ **/*。*.*真空極限：設備空載抽真空 ** 小時后，可達 *.*×**？？**?！?.*升壓率：≤*.***/*(** 小時平均值)；停泵 ** 小時后，設備真空度≤****?！?.*抽速：從大氣抽至 *.*×**？***，設備空載時≤*****；設備空載且在干燥氮氣環境下≤*****。二、基片臺相關指標★*.*尺寸與樣品規格：基片臺尺寸 Φ*****，最大樣品尺寸≤ Φ*****，配有基片臺擋板?！?.*旋轉功能：旋轉轉速 *～** 轉/分鐘(或轉速包含該范圍)，可調可控，主軸采用磁流體密封。絕緣與偏壓：基片臺與腔室絕緣設計，可接脈沖偏壓電源。加熱功能：基片臺環境溫度可從室溫升至 ***±*℃，采用 *** 智能溫控閉環控溫，可控可調，且采用鎧裝加熱器及絕緣、屏蔽等設計。三、濺射靶及電源相關指標★*.*濺射靶配置：* 套 * 英寸磁控濺射靶，向上濺射，可濺射磁性材料，各靶配有氣動擋板結構?！?.*工作方式：各靶可獨立、順次、共同工作，采用磁控靶從下向上濺射鍍膜。電源參數：★*.*直流脈沖濺射電源：***，數字化控制及顯示，共 * 臺。★*.*科射頻電源：****，數字化控制及顯示，共 * 臺。*.*脈沖偏壓電源：-***，數字化控制及顯示，共 * 臺。★*.*高速脈沖 *-* 測試電壓范圍≥****-*。★*.*高速脈沖 *-* 測試電流量程至少包含 *****、*****、****、***、***μ*、**μ*、*μ*四、氣路系統相關指標▲*.*質量流量控制器及量程：** 為 ≥*******；*？為 ≥******；*？為 ≥******。氣路組件：含 Φ*** 電磁截止閥、三進一出混氣管，采用 ** 管道(內外拋光金屬管)。五、其他關鍵指標*.*膜厚不均勻性：≤±*%(單靶鍍膜，基片臺 Φ***** 范圍內)。*.*自動恒壓系統：由薄膜規 + 調節閥 + 輔助系統 + 控制系統組成?！?.*控制方式：*** + 觸摸屏控制，可實現自動一鍵式抽真空，蒸發鍍膜電源手動控制。報警及保護：具備缺水報警及相應保護措施，有完善的邏輯程序互鎖保護系統。設備尺寸：長 × 寬 × 高為 ≥******×≥******×≥******?！?.*支持收集平臺中所有終端硬件配置信息，包括終端名稱、設備內存容量、最近運行時間、合計運行時間、硬件變更和記錄信息等，便于實驗室設備管理(提供此功能界面截圖證明)。★*.*儀器設備綜合管理平臺具備全生命周期管理功能、運行數據分析、設備遠程界面、設備狀態分析、接口管理等功能(提供此功能界面截圖證明)。
合同履行期限：合同簽訂后的**日內將所投產品運抵交貨地點并安裝調試完畢。
需落實的政府采購政策內容：中小企業；監獄企業；殘疾人福利性單位；節能產品、環境標志產品；列入《創新產品和服務目錄》內的產品、服務等政府采購相關政策。
本項目(是/否)接受聯合體投標：否
二、供應商的資格要求
*.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定。
*.落實政府采購政策需滿足的資格要求：本項目專門面向中小微企業采購，供應商所投產品廠商須為中型或小型或微型企業，殘疾人福利性單位、監獄企業視同小型和微型企業；
*.本項目的特定資格要求：無
三、政府采購供應商入庫須知
參加遼寧省政府采購活動的供應商未進入遼寧省政府采購供應商庫的，請詳閱遼寧政府采購網 “首頁—政策法規”中公布的“政府采購供應商入庫”的相關規定，及時辦理入庫登記手續。填寫單位名稱、統一社會信用代碼和聯系人等簡要信息，由系統自動開通賬號后，即可參與政府采購活動。具體規定詳見《關于進一步優化遼寧省政府采購供應商入庫程序的通知》(遼財采函〔****〕***號)。
四、獲取招標文件
時間：****年**月**日**時**分至****年**月**日**時**分(北京時間，法定節假日除外)
地點：線上獲取
方式：線上
售價：免費
五、提交投標文件截止時間、開標時間和地點
****年**月**日 **時**分(北京時間)
地點：遼寧政府采購網電子評審系統上傳提交電子文件。備份文件遞交至登錄后查看開標樓會議室(沈陽市和平區南九馬路**號)
六、公告期限
自本公告發布之日起*個工作日。
七、質疑與投訴
供應商認為自己的權益受到損害的，可以在知道或者應知其權益受到損害之日起七個工作日內，向采購代理機構或采購人提出質疑。
*、接收質疑函方式：線上或書面紙質質疑函
*、質疑函內容、格式：應符合《政府采購質疑和投訴辦法》相關規定和財政部制定的《政府采購質疑函范本》格式，詳見遼寧政府采購網。
質疑供應商對采購人、采購代理機構的答復不滿意，或者采購人、采購代理機構未在規定時間內作出答復的，可以在答復期滿后**個工作日內向本級財政部門提起投訴。
八、其他補充事宜
*.本項目采用全流程電子招投標，參與本項目的供應商須自行辦理好**鎖，供應商除在電子評審系統上傳投標文件外，應在遞交投標文件截止時間前提交按采購文件規定的介質形式(*盤)存儲的可加密備份文件，并承諾備份文件與電子評審系統中上傳的投標文件內容、格式一致，備系統突發故障使用。供應商僅提交備份文件的，投標無效。詳見遼寧政府采購網《關于完善政府采購電子評審業務流程等有關事項的通知》 遼財采函{****} ***號。 *.供應商自行準備電子設備確保能夠自行報價及解密。
九、對本次招標提出詢問，請按以下方式聯系
*.采購人信息
名稱：
沈陽工業大學
地址：
沈陽經濟技術開發區沈遼西路***號
聯系方式：
***-********
*.采購代理機構信息：
地址：
沈陽市和平區南九馬路**號
聯系方式：
***-********
郵箱地址：
*******登錄后查看***.***
賬號：
*****************
*.項目聯系方式
項目聯系人：
喬善博、李勃、胡鐵軍、姜北、蘇美玲、袁鶴銘、趙蔓彤
電話：
***-********
